프로젝션 타임즈 보도에 따르면, 장쑤 톈징 스마트 이큅먼트 유한회사(이하 ‘톈징 스마트 이큅먼트’)가 자체 개발한 12인치 사파이어 기판과 캐리어 웨이퍼가 동시에 대규모 양산에 성공했으며, 연간 생산능력이 10만 장에 달하고, 수율은 97%를 초과한다고 발표했습니다.
이번에 양산된 12인치 사파이어 기판은 직경이 300±0.5mm로 정밀하게 제어되며, 표면 거칠기는 0.2나노미터, 전위 밀도는 ≤500 cm², 최대 2050℃의 고온을 견딜 수 있어 GaN 에피택시, Micro LED 등 고급 소자의 제조 요구를 충족할 수 있습니다.
12인치 사파이어 기판은 독창적인 초고속 다이아몬드 와이어 절단 기술(와이어 속도 3000m/분)과 마그네트론 스퍼터링 공정을 통해 제품 외연층의 전위 밀도를 80% 낮추어 LED 칩의 발광 효율을 향상시켰습니다.
자료에 따르면, 톈징 스마트 이큅먼트는 2015년 선전에 설립되었으며, 설립 초기부터 스마트 장비 분야에 집중했습니다. 2019년에는 쉬저우에 생산 본사를 설립했고, 2024년에는 규모 확장을 위해 공장을 화이안으로 이전했으며, 같은 해 푸젠성 수이토우 진에 지사를 설립해 전국적인 사업 배치를 완성했습니다.
